Workingspace: 12-1000L
Μέγιστη εργασιακή πίεσηΜέγιστη εργασιακή πίεση (MPA): 1、2、6、10、20
Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας: 1300°C
Θερμοκρασία λειτουργίας: 1200℃
Συσκευασία λεπτομέρειες: ξύλινες θήκες
Χρόνος παράδοσης: 5-6 μήνες
Ζώνη θέρμανσης: ενιαίος/διπλάσιο/πολυ
Μέτρηση θερμοκρασίας: W-Re 5/26 Θερμοσύνδεσμος+υπερύθμιση υπερύθρων
Μέγεθος: Προσαρμοσμένο
Αέριο εισόδου: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Μαξ. Εργασιακή θερμοκρασία.: 1800℃
Max.working πίεση: 90,8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Χρόνος ψύξης: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Καθαρός φούρνος,ψύξη από ζύμωση θερμοκρασία 1450-100°C) θερμοκρασία νερού ≤26°C,πί
Μέγεθος: Προσαρμοσμένο
Υπόστρωμα επικάλυψης: Μεταλλικό, κεραμικό, γυαλί, κλπ.
Πρόσφυση επίστρωσης: Δυνατό
Προκαταρκτικά και αέρια διεργασίας: Το TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Μέγεθος εξοπλισμού επικάλυψης: Προσαρμόσιμη
Μέθοδος επικάλυψης: Χημική εναπόθεση ατμών (CVD)
Συνολική ισχύς: Περίπου 40/50/60/80KW
Συνολική ισχύς: Περίπου 40/50/60/80KW
Υπόστρωμα επικάλυψης: Μεταλλικό, κεραμικό, γυαλί, κλπ.
Χρόνος ψύξης: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Καθαρός φούρνος,ψύξη από ζύμωση θερμοκρασία 1450-100°C) θερμοκρασία νερού ≤26°C,πί
Μέγιστη θερμοκρασία: 2000℃
Προκαταρκτικά και αέρια διεργασίας: Το TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Υπόστρωμα επικάλυψης: Μεταλλικό, κεραμικό, γυαλί, κλπ.
Στείλτε το αίτημά σας απευθείας σε εμάς