Φούρνος ανάπτυξης επιταξίας HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC)

Ο εξοπλισμός αυτός χρησιμοποιείται για την επικάλυψη με καρβίδιο του πυριτίου υλικών με βάση τον άνθρακα/κηραμική ύλη,ειδικά κατάθεση καρβιδίου του πυριτίου στην επιφάνεια του ημιαγωγού επιταξιακού υποδοχέα και του δαχτυλιδιού χαρακτικής.

Η επιταξιακή βάση, ένας δίσκος γραφίτη υψηλής καθαρότητας, με κυκλικό αυλάκι για να στερεώνει το υπόστρωμα της πλάκας.Μετά την τοποθέτησή τους στο φούρνο, ένα στρώμα κρυστάλλινης ταινίας θα αναπτυχθεί στην επιφάνεια του υποστρώματος, το οποίο είναι το επιταξιακό στρώμα.Οι διεργασίες των κυψελών, όπως η λιθογραφία και η εμφύτευση ιόντων, διεξάγονται στο επιταξιακό στρώμα.

Η επιταξιακή βάση από γραφίτη προφανώς δεν μπορεί να ανταποκριθεί στις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας στη διαδικασία των ημιαγωγών.Για τον λόγο αυτό, πρέπει να χρησιμοποιήσουμε χημική εναπόθεση ατμού στη βάση για να τυλίξουμε ένα στρώμα πυκνού φιλμ καρβιδίου του πυριτίου.

Προαιρετική διαμόρφωση

1. Πύλη φούρνου: τύπος ανύψωσης με βίδα/υδραυλική/χειροκίνητη κίνηση· άνοιγμα κλίσης/παράλληλο άνοιγμα ((πύλη μεγάλου μεγέθους φούρνου) · χειροκίνητη στενή/αυτοκλειδωτική στενή
2- Κύπελλο φούρνου: όλο ατσάλι άνθρακα/μέσα στρώση ανοξείδωτου χάλυβα/όλο ανοξείδωτο χάλυβα
3- Ζώνη καύσης του φούρνου: μαλακό φέλτσιο άνθρακα/μαλακό φέλτσιο γραφίτη/σκληρό συνθετικό φέλτσιο/CFC
4- Θερματικό στοιχείο και θόλωμα: ισόστατο γραφίτη τύπωσης / υψηλής καθαρότητας, αντοχής και πυκνότητας γραφίτη / γραφίτη λεπτού μεγέθους
5Σύστημα αερίων διεργασίας: μέτρο ροής όγκου/μάζας.
6Θερμοσύνδεσμος: τύπου K/τύπου N/τύπου C/τύπου S

• Πρότυπα σχεδιασμού

Ο εξοπλισμός έχει σχεδιαστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις για δοχεία υπό πίεση του Γραφείου Ποιότητας και Τεχνικής Εποπτείας και είναι ειδικευμένος μετά από δοκιμές πίεσης και αποστολή.Ο σχεδιασμός και η κατασκευή του ηλεκτρικού ανταποκρίνονται στα εθνικά πρότυπα.

• Προεπιθεώρηση πριν από την εγκατάσταση και προεπιδοχή

Ο εξοπλισμός είναι πλήρως συναρμολογημένος στο εργοστάσιό μας, συμπεριλαμβανομένων όλων των αγωγών, αγωγών κενού, αγωγών αερίου, αγωγών ψύξης νερού, αγωγών συμπιεσμένου αέρα κλπ.Η προκαταρκτική δοκιμή μπορεί να πραγματοποιηθεί μετά την εγκατάστασηΗ εγκατάσταση περιλαμβάνει επίσης τη σύνδεση όλων των καλωδίων.το κύριο καλώδιο που συνδέει το ντουλάπι ισχύος παρέχεται από τον πελάτηΜετά την εγκατάσταση, διεξάγουμε δοκιμές διαρροής κενού και θετικής πίεσης σε ολόκληρο τον εξοπλισμό, καθώς και δοκιμές μηχανικής και ηλεκτρικής λειτουργίας.

• Αποσυναρμολόγηση και μεταφορά

Ο εξοπλισμός θα αποσυναρμολογείται σε πολλά μεγάλα μέρη, θα συσκευάζεται με τυποποιημένο τρόπο και θα φορτώνεται στο μεταφορικό όχημα.

• Εγκατάσταση και θέση σε λειτουργία του χώρου του πελάτη

Ο μηχανικός μετά την πώληση της Redel θα οδηγήσει την ομάδα για να ολοκληρώσει την έναρξη λειτουργίας, την δοκιμή του προϊόντος και άλλες εργασίες εντός 20 εργάσιμων ημερών.Ο πελάτης πρέπει να προετοιμαστεί κατάλληλα και να παρέχει τα απαραίτητα εργαλεία, όπως υψοφόρο και ανυψωτικό εξοπλισμό. και να παρέχει υποστήριξη προσωπικού εγκατάστασης (συστήνεται να υπάρχουν 1 μηχανικό προσωπικό και 1 ηλεκτρολόγος).

• Τελική αποδοχή
Μετά την εγκατάσταση και την έναρξη λειτουργίας, ο εξοπλισμός μπορεί να γίνει τελικά αποδεκτός σύμφωνα με τις απαιτήσεις της τεχνικής σύμβασης.

• Εκπαίδευση
Οι μηχανικοί μας μετά την πώληση θα παρέχουν συστηματική και πλήρη εκπαίδευση επί τόπου, συμπεριλαμβανομένης της λειτουργίας, της συντήρησης, της αντιμετώπισης προβλημάτων κλπ.

• Παροχή τεχνικών δεδομένων

Για να εξασφαλιστεί η ασφαλής λειτουργία και συντήρηση του εξοπλισμού, θα παρέχονται στους πελάτες τα ακόλουθα τεχνικά δεδομένα:

1. Διαμόρφωση εγκατάστασης εξοπλισμού
2Οδηγία χρήσης
3. Κατάλογος ανταλλακτικών
4Ηλεκτρικά σχέδια
5Οδηγία κατασκευής

Γενικές ερωτήσεις

Είστε εργοστάσιο ή εμπορική εταιρεία;

Ε: Είστε εργοστάσιο ή εμπορική εταιρεία;
Α:Είμαστε ο κορυφαίος κατασκευαστής φούρνων κενού υψηλής θερμοκρασίας στην Κίνα με πάνω από 10 χρόνια εμπειρίας.

Έχετε προσαρμογή ή υπηρεσία OEM;

Ε: Έχετε προσαρμογή ή υπηρεσία OEM;
Α:Ναι,έχουμε ισχυρή ομάδα ερευνών και ανάπτυξης και εξοπλισμό υψηλής τεχνολογίας. Έτσι δεν μπορούμε μόνο να προμηθεύσουμε το κανονικό μοντέλο,αλλά και τον προσαρμόσιμο φούρνο ως ανταλλαγή των πελατών μας.

Ποιο είναι το πλεονέκτημα σου;

Ε: Ποιο είναι το πλεονέκτημα σας;
Α:

Γρήγορη απάντηση στην ερώτησή σας.

Ι Υψηλός έλεγχος ποιότητας

L Σταθερή αλυσίδα εφοδιασμού

Πρεπής παράδοση

Υπέροχη υπηρεσία μετά την πώληση