Φούρνος επικάλυψης CVD με καρβίδιο του πυριτίου για υποδοχικό ή δαχτυλίδι χαλύβδου γραφίτη

Φούρνος επικάλυψης CVD με καρβίδιο του πυριτίου για υποδοχικό ή δαχτυλίδι χαλύβδου γραφίτη

Ο εξοπλισμός αυτός χρησιμοποιείται για την εναπόθεση του καρβιδίου του πυριτίου στην επιφάνεια υλικού με βάση τον άνθρακα/κεραμική, ειδικά για υποδοχείς ημιαγωγών και δαχτυλίδια χαρακτικής.

Ο υποκείμενος σε γραφίτη, ένας δίσκος υψηλής καθαρότητας γραφίτη, με κυκλικό αυλάκι πάνω του για να σταθεροποιήσει το υπόστρωμα της πλάκας.ένα στρώμα κρύσταλλου θα αναπτυχθεί στην επιφάνεια του υποστρώματος, το οποίο είναι το επιταξιακό στρώμα.

Οι διαδικασίες των κυψελών, όπως η λιθογραφία και η εμφύτευση ιόντων, πραγματοποιούνται στο επιταξικό στρώμα.Η επιταξιακή βάση από γραφίτη προφανώς δεν μπορεί να ανταποκριθεί στις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας στη διαδικασία των ημιαγωγών..

Για το λόγο αυτό, πρέπει να χρησιμοποιήσουμε χημική εναπόθεση ατμού στη βάση για να τυλίξουμε ένα στρώμα πυκνού φιλμ καρβιδίου του πυριτίου.

• Πρότυπα σχεδιασμού

Ο εξοπλισμός έχει σχεδιαστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις για δοχεία υπό πίεση του Γραφείου Ποιότητας και Τεχνικής Εποπτείας και είναι ειδικευμένος μετά από δοκιμές πίεσης και αποστολή.Ο σχεδιασμός και η κατασκευή του ηλεκτρικού ανταποκρίνονται στα εθνικά πρότυπα.

• Προεπιθεώρηση πριν από την εγκατάσταση και προεπιδοχή

Ο εξοπλισμός είναι πλήρως συναρμολογημένος στο εργοστάσιό μας, συμπεριλαμβανομένων όλων των αγωγών, αγωγών κενού, αγωγών αερίου διαδικασίας, αγωγών ψύξης νερού, αγωγών συμπιεσμένου αέρα κλπ.Η προκαταρκτική δοκιμή μπορεί να πραγματοποιηθεί μετά την εγκατάστασηΗ εγκατάσταση περιλαμβάνει επίσης τη σύνδεση όλων των καλωδίων.το κύριο καλώδιο που συνδέει το ντουλάπι ισχύος παρέχεται από τον πελάτηΜετά την εγκατάσταση, διεξάγουμε δοκιμές διαρροής κενού και θετικής πίεσης σε ολόκληρο τον εξοπλισμό, καθώς και δοκιμές μηχανικής και ηλεκτρικής λειτουργίας.

• Αποσυναρμολόγηση και μεταφορά

Ο εξοπλισμός θα αποσυναρμολογείται σε πολλά μεγάλα μέρη, θα συσκευάζεται με τυποποιημένο τρόπο και θα φορτώνεται στο μεταφορικό όχημα.

• Εγκατάσταση και θέση σε λειτουργία του χώρου του πελάτη

Ο μηχανικός μετά την πώληση της Redel θα οδηγήσει την ομάδα για να ολοκληρώσει την έναρξη λειτουργίας, την δοκιμή του προϊόντος και άλλες εργασίες εντός 20 εργάσιμων ημερών.Ο πελάτης πρέπει να προετοιμαστεί κατάλληλα και να παρέχει τα απαραίτητα εργαλεία, όπως υψοφόρο και ανυψωτικό εξοπλισμό. και να παρέχουν υποστήριξη προσωπικού εγκατάστασης (συστήνεται να υπάρχουν 1 μηχανικό προσωπικό και 1 ηλεκτρολόγος).

• Τελική αποδοχή

Μετά την εγκατάσταση και τη θέση σε λειτουργία, ο εξοπλισμός μπορεί να γίνει τελικά αποδεκτός σύμφωνα με τις απαιτήσεις της τεχνικής σύμβασης.

• Εκπαίδευση

Οι μηχανικοί μας μετά την πώληση θα παρέχουν συστηματική και πλήρη εκπαίδευση επί τόπου, συμπεριλαμβανομένης της λειτουργίας, της συντήρησης, της αντιμετώπισης προβλημάτων κλπ.

• Παροχή τεχνικών δεδομένων

Για να εξασφαλιστεί η ασφαλής λειτουργία και συντήρηση του εξοπλισμού, θα παρέχονται στους πελάτες τα ακόλουθα τεχνικά δεδομένα:

1. Διαμόρφωση εγκατάστασης εξοπλισμού

2Οδηγία χρήσης

3. Κατάλογος ανταλλακτικών

4Ηλεκτρικά σχέδια

5Οδηγία κατασκευής